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Rezensionsexemplar
48,80 €
ISBN 978-3-8440-6937-2
Paperback
180 Seiten
78 Abbildungen
322 g
24 x 17 cm
Deutsch
Dissertation
September 2019
Andreas Schatz
Gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Pb(Zr,Ti)O3-Dünnschichten zur Anwendung in mikroelektromechanischen Systemen
Der piezoelektrische Effekt findet im Bereich der mikroelektromechanischen Systeme vermehrt Anwendung, was unter anderem durch einen ansteigenden Reifegrad von piezoelektrischen Dünnschichten erklärt werden kann. In dieser Arbeit wird die gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Blei-Zirkonat-Titanat-Dünnschichten untersucht. Hierfür wird die Methode der statistischen Versuchsplanung angewandt. Aufbauend auf diesen Untersuchungen werden die physikalischen Hintergründe der beiden Haupteinflussgrößen Druck und Temperatur der Abscheidung weitergehend analysiert und Zusammenhänge zwischen Mikrostruktur und elektrischen Parametern dargelegt. Ausgehend von den Erkenntnissen der statistischen Versuchsplanung werden weiterhin verschiedene Ansätze zur Lösung der Problematik der Abscheidung von Blei-Zirkonat-Titanat-Dünnschichten bei Einhaltung eines maximalen, post-CMOS-kompatiblen, thermischen Budgets aufgezeigt.
Schlagwörter: MEMS; PZT; Piezoelektrizität; PLD
Microactuators – Design and Technology
Herausgegeben von Prof. Dr. Ulrike Wallrabe, Freiburg
Band 18
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