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Erlanger Berichte Mikroelektronik
Herausgeber

Prof. Dr.-Ing. H. Ryssel und Prof. Dr. rer. nat. L. Frey
Erlangen
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Herausgeber

Prof. Dr.-Ing. H. Ryssel und Prof. Dr. rer. nat. L. Frey
Erlangen
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Dirk Lewke
Untersuchung und Minimierung lateraler Rissabweichungen beim Thermischen Laserstrahlseparieren

Das Thermische Laserstrahlseparieren (TLS) ist eine auf Laser basierte Trenntechnologie für die Halbleiterindustrie, bei der durch thermisch induzierte ...

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2018,1
ISBN 978-3-8440-5929-8, Deutsch, Paperback, 202 Seiten,
21 x 14,8 cm, 300 g, 106 Abbildungen, 48,80 €
Mai 2018

978-3-8440-5929-8
Dirk Lewke
Untersuchung und Minimierung lateraler Rissabweichungen beim Thermischen Laserstrahlseparieren
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2018,1
ISBN 978-3-8440-5929-8, Deutsch, Paperback, 202 Seiten,
21 x 14,8 cm, 300 g, 106 Abbildungen, 48,80 €
Mai 2018

Andreas Hürner
SiC-BIFET
Ein bipolarer SiC-Feldeffekttransistor für das Mittelspannungsnetz

Diese Arbeit befasst sich schwerpunktmäßig mit der Erforschung und Bewertung der Durchlasseigenschaften von 10kV-SiC-BIFETs mit einer nominellen Sperrfestigkeit ...

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2017,1
ISBN 978-3-8440-5456-9, Deutsch, Paperback, 202 Seiten,
21 x 14,8 cm, 279 g, 43 Abbildungen, 48,80 €
September 2017

978-3-8440-5456-9
Andreas Hürner
SiC-BIFET
Ein bipolarer SiC-Feldeffekttransistor für das Mittelspannungsnetz
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2017,1
ISBN 978-3-8440-5456-9, Deutsch, Paperback, 202 Seiten,
21 x 14,8 cm, 279 g, 43 Abbildungen, 48,80 €
September 2017

auch als Online-Publikation verfügbar

Stefan Johannes Noll
Prozessabhängigkeit der Feldeffektbeweglichkeit und Stabilität der Einsatzspannung von 4H-SiC MOS Transistoren

Neue Halbleitermaterialien wie Siliciumcarbid (SiC) haben das Potential, Verluste in leistungselektronischen Systemen stark zu verringern. Bei Siliciumcarbid ...

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2016,3
ISBN 978-3-8440-4872-8, Deutsch, Paperback, 168 Seiten,
21 x 14,8 cm, 231 g, 77 Abbildungen, 48,80 €
November 2016

978-3-8440-4872-8
Stefan Johannes Noll
Prozessabhängigkeit der Feldeffektbeweglichkeit und Stabilität der Einsatzspannung von 4H-SiC MOS Transistoren
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2016,3
ISBN 978-3-8440-4872-8, Deutsch, Paperback, 168 Seiten,
21 x 14,8 cm, 231 g, 77 Abbildungen, 48,80 €
November 2016

Sebastian Polster
Nanopartikuläre ZnO-Schichten für Dünnschichttransistoren

Gedruckte Elektronik stellt für bestimmte Anwendungen eine interessante Alternative zur konventionellen Halbleitertechnologie dar. Speziell für Massenartikel, ...

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2016,2
ISBN 978-3-8440-4377-8, Deutsch, Paperback, 152 Seiten,
21 x 14,8 cm, 212 g, 48 Abbildungen, 45,80 €
April 2016

978-3-8440-4377-8
Sebastian Polster
Nanopartikuläre ZnO-Schichten für Dünnschichttransistoren
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2016,2
ISBN 978-3-8440-4377-8, Deutsch, Paperback, 152 Seiten,
21 x 14,8 cm, 212 g, 48 Abbildungen, 45,80 €
April 2016

auch als Online-Publikation verfügbar

Christian Tobias Banzhaf
Entwicklung und Charakterisierung von Trench-Gate-Strukturen für 4H-SiC Leistungs-MOSFETs

Das Ziel dieser experimentellen Arbeit ist die prozesstechnologische Umsetzung einer Trench-MOSFET-Technologie auf der Silicium-Seite von 4H-Siliciumcarbid ...

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2016,1
ISBN 978-3-8440-4372-3, Deutsch, Paperback, 270 Seiten,
21 x 14,8 cm, 402 g, 109 Abbildungen, 49,80 €
April 2016

978-3-8440-4372-3
Christian Tobias Banzhaf
Entwicklung und Charakterisierung von Trench-Gate-Strukturen für 4H-SiC Leistungs-MOSFETs
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2016,1
ISBN 978-3-8440-4372-3, Deutsch, Paperback, 270 Seiten,
21 x 14,8 cm, 402 g, 109 Abbildungen, 49,80 €
April 2016

Christian Strenger
Herstellung und Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldeffekttransistoren auf 4H-Siliciumcarbid

Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Herstellung und der Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldefekttransistoren auf ...

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2015,2
ISBN 978-3-8440-3495-0, Deutsch, Paperback, 194 Seiten,
21 x 14,8 cm, 287 g, 38 Abbildungen, 48,80 €
März 2015

978-3-8440-3495-0
Christian Strenger
Herstellung und Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldeffekttransistoren auf 4H-Siliciumcarbid
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2015,2
ISBN 978-3-8440-3495-0, Deutsch, Paperback, 194 Seiten,
21 x 14,8 cm, 287 g, 38 Abbildungen, 48,80 €
März 2015

Tim Behrens
Kupfer-Metallisierung für Siliciumcarbid-Leistungshalbleiter zur Steigerung der Lebensdauer

Neue Halbleiter-Generationen mit größerer Bandlücke, wie beispielsweise Siliciumcarbid (SiC), haben das Potenzial die Leistungsdichte zu steigern und ...

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2015,1
ISBN 978-3-8440-3357-1, Deutsch, Paperback, 168 Seiten,
21 x 14,8 cm, 248 g, 67 Abbildungen, 48,80 €
Februar 2015

978-3-8440-3357-1
Tim Behrens
Kupfer-Metallisierung für Siliciumcarbid-Leistungshalbleiter zur Steigerung der Lebensdauer
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2015,1
ISBN 978-3-8440-3357-1, Deutsch, Paperback, 168 Seiten,
21 x 14,8 cm, 248 g, 67 Abbildungen, 48,80 €
Februar 2015

auch als Online-Publikation verfügbar

Martin Le-Huu
Entwicklung und Charakterisierung von integrierten Schaltungen auf Siliciumcarbid für den Betrieb bei hohen Temperaturen

Elektronische Schaltungen aus Siliciumcarbid (SiC) können aufgrund der großen Bandlücke des Materials bei Temperaturen oberhalb von 300°C betrieben ...

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2011,5
ISBN 978-3-8440-0614-8, Deutsch, Paperback, 152 Seiten,
21 x 14,8 cm, 224 g, 77 Abbildungen, 45,80 €
Dezember 2011

978-3-8440-0614-8
Martin Le-Huu
Entwicklung und Charakterisierung von integrierten Schaltungen auf Siliciumcarbid für den Betrieb bei hohen Temperaturen
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2011,5
ISBN 978-3-8440-0614-8, Deutsch, Paperback, 152 Seiten,
21 x 14,8 cm, 224 g, 77 Abbildungen, 45,80 €
Dezember 2011

Matthias Knörr
Verbinden von Leistungshalbleiterbauelementen durch Sintern von nanoskaligen Silberpartikeln

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2011,4
ISBN 978-3-8440-0352-9, Deutsch, Paperback, 228 Seiten,
21 x 14,8 cm, 339 g, 136 Abbildungen, 49,80 €
September 2011

978-3-8440-0352-9
Matthias Knörr
Verbinden von Leistungshalbleiterbauelementen durch Sintern von nanoskaligen Silberpartikeln
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2011,4
ISBN 978-3-8440-0352-9, Deutsch, Paperback, 228 Seiten,
21 x 14,8 cm, 339 g, 136 Abbildungen, 49,80 €
September 2011

auch als Online-Publikation verfügbar

Martin Schellenberger
Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage

Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung eines neuen, modularen Steuerungskonzepts für die Integration und Steuerung von Messtechnik in der Halbleiterfertigung. ...

Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2011,3
ISBN 978-3-8440-0264-5, Deutsch, Paperback, 182 Seiten,
21 x 14,8 cm, 270 g, 66 Abbildungen, 48,80 €
August 2011

978-3-8440-0264-5
Martin Schellenberger
Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage
Erlanger Berichte Mikroelektronik
Band: 2011,3
ISBN 978-3-8440-0264-5, Deutsch, Paperback, 182 Seiten,
21 x 14,8 cm, 270 g, 66 Abbildungen, 48,80 €
August 2011

auch als Online-Publikation verfügbar

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